清華科研成果有望解決光刻機(jī)卡脖子難題 路還很長(zhǎng)

在芯片制造業(yè)中，光刻機(jī)至關(guān)重要，每顆芯片都需要經(jīng)過(guò)光刻技術(shù)的鍛造。荷蘭阿斯麥（ASML）公司是目前世界上唯一的EUV光刻機(jī)供應(yīng)商，影響著全球芯片供應(yīng)。若想在這方面不被卡脖子，則需要我們國(guó)家在光刻機(jī)領(lǐng)域取得突破性研究成果。

據(jù)科技日?qǐng)?bào)報(bào)道，2月25日，清華大學(xué)的一項(xiàng)科研成果刊登在《自然》上，這篇題為《穩(wěn)態(tài)微聚束原理的實(shí)驗(yàn)演示》的論文，報(bào)告了一種新型粒子加速器光源“穩(wěn)態(tài)微聚束”（SSMB）的首個(gè)原理驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)。SSMB光源的潛在應(yīng)用之一就是作為未來(lái)EUV光刻機(jī)的光源。

SSMB原理驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)示意圖

該實(shí)驗(yàn)由清華大學(xué)工程物理系唐傳祥教授研究組和亥姆霍茲柏林材料與能源研究中心、德國(guó)聯(lián)邦物理技術(shù)研究院合作完成。唐傳祥表示，基于SSMB的EUV光源有望解決自主研發(fā)光刻機(jī)中最核心的“卡脖子”難題。但是，EUV光刻機(jī)的自主研發(fā)還有很長(zhǎng)的路要走，這需要SSMB EUV光源的持續(xù)科技攻關(guān)，也需要上下游產(chǎn)業(yè)鏈的配合，才能獲得真正成功。